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反射光譜薄膜測厚儀

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MProbe NIR薄膜測厚儀


參考價格：15-20萬

采用近紅外光譜(NIR)的薄膜測厚儀，可以用于測量一些可見光和紫外光無法使用的應用領域，比如在可見光范圍內(nèi)有吸收的太陽能薄膜(CIGS, CdTe)可以快速的測量。

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采用近紅外光譜(NIR)的測厚儀可以用于測量一些可見光和紫外光無法使用的應用領域，比如在可見光范圍內(nèi)有吸收的太陽能薄膜(CIGS, CdTe)可以快速的測量。

測量范圍: 100 nm -200um

波長范圍: 900 nm -2500 nm

適用于實時在線測量，多層測量，非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料)，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等

測量指標：薄膜厚度，光學常數(shù)

界面友好強大: 一鍵式測量和分析。

實用的工具：曲線擬合和靈敏度分析，背景和變形校正，連接層和材料，多樣品測量，動態(tài)測量和產(chǎn)線批量處理。


 MProbe NIR薄膜測厚儀

                     （MProble NIR薄膜測厚儀系統(tǒng)示）


系統(tǒng)性能參數(shù)：

           精度 <0.01nm or 0.01%
           準確度 <0.2% or 1 nm
           穩(wěn)定性 <0.02nm or 0.03%
          光斑直徑 標準3mm, 可以小至3um
          樣品大小 大于1 mm


MProbe NIR薄膜測厚儀



技術參數(shù)：


測量范圍 100nm-200um
精度 <0.01nm or 0.01%
準確度 <0.2% or 1 nm
穩(wěn)定性 <0.02nm or 0.03%
波長范圍 NIR: 900-1700
NIRX: 900-2200
NIRX2:1550-2500nm
光譜儀和檢測器 F4光譜儀，256/512/1024像素InGaAs PDA檢測器，16位深，TE制冷，高靈敏度，高動態(tài)范圍，信噪比：大于6000
光譜分辨率 小于4nm（512像素）
光源 5W鹵鎢燈，色溫2800，壽命：10000小時
反射探頭 光導光纖（7個纖芯），纖芯400um

可選硬件模塊：
FLNIR 石英聚焦透鏡，工作距離：35mm，光斑直徑：小于0.5mm
FDHolder 面向下面樣品適配器，用于透明樣品
TO 透射率測量模塊
TO Switch 2個通道轉(zhuǎn)換器，用于反射率和透射率測量
20W 20W鹵鎢燈（色溫3100，壽命2000小時）
TR 5V TTL外觸發(fā)模塊，1個外部in觸發(fā)，啟動測量，6路out觸發(fā)

可選軟件模塊:
MOD 遠程控制（TCP），基于Modbus協(xié)議
KM 動態(tài)測量模塊，設定時間間隔，用于在線測量

 MProbe NIR薄膜測厚儀

訂購信息：

MProbe NIR-AA-BBBB

AA：光譜范圍(OO：900-1700nm;OX：900-2200nm;X2：1550-2200nm)

BBBB：InGaAs PDA像素數(shù)量(256，512或1024)

例如：MProbe NIR-OO-512，代表900-1700nm光譜，512像素檢測器


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