薄膜測(cè)試儀屬于測(cè)厚儀中一種，在其使用上主要是通過(guò)PVC操作面板對(duì)被測(cè)物實(shí)現(xiàn)薄膜度檢測(cè)，利用包材厚度檢測(cè)方式，為薄膜等厚度低的材料實(shí)現(xiàn)厚度上的測(cè)量，從而確定被測(cè)物厚度是否均勻，在此基礎(chǔ)上對(duì)薄膜各項(xiàng)性能實(shí)現(xiàn)全面的檢查，為被測(cè)物后續(xù)生產(chǎn)做好準(zhǔn)備。

　　那么薄膜測(cè)試儀在使用上具體使用哪些測(cè)量方法的呢?下面逐一為大家介紹：

　　薄膜測(cè)試儀測(cè)量方法一：機(jī)械方法

　　機(jī)械測(cè)量可以說(shuō)是比較典型的測(cè)量方法之一，一般情況下主要被分成兩種接觸方式，一種是精密接觸，另一種是少量接觸方式，前者在使用時(shí)建立在臺(tái)階儀使用上，而后者有三種可使用方式，分別是AFM、SEM以及TEM等等;采用機(jī)械測(cè)量方法的優(yōu)勢(shì)好處就在于不收材料限制，實(shí)用性廣泛，尤其是對(duì)金屬膜的測(cè)試，厚度測(cè)量精準(zhǔn);

　　薄膜測(cè)試儀測(cè)量方法二：光學(xué)方法

　　光學(xué)測(cè)量方法相對(duì)于機(jī)械方法在厚度測(cè)量上更加的精準(zhǔn)，其主要是利用光在被測(cè)物上的傳輸，由復(fù)折射率決定，利用光與材料原子形成的相互作用，利用發(fā)射光實(shí)現(xiàn)厚度上的測(cè)試，這種光學(xué)測(cè)量方法在使用上是非常方便;

　　薄膜測(cè)試儀測(cè)量方法三：橢偏測(cè)量方法

　　橢偏測(cè)量方法相比較其他測(cè)量方法，具有一定特殊性，其利用數(shù)據(jù)采集方式，使用MSE評(píng)估擬合質(zhì)量，同時(shí)利用橢偏儀特殊的結(jié)構(gòu)，通過(guò)相位補(bǔ)償器，同時(shí)在探測(cè)器的作用下，對(duì)被測(cè)物實(shí)現(xiàn)膜厚、表面粗糙等方面的測(cè)量;這種橢偏測(cè)量方法在使用中一般主要是針對(duì)透明材料使用的比較多，利用折射率的變化，對(duì)消光系數(shù)、折射率梯度等相關(guān)參數(shù)實(shí)現(xiàn)記錄。

　　對(duì)薄膜測(cè)試儀使用者來(lái)說(shuō)，了解測(cè)量方法有什么作用呢?正如以上所說(shuō)的那樣，在足夠了解測(cè)試儀的基礎(chǔ)上，懂得如何操作設(shè)備，才能確保設(shè)備使用過(guò)程中不會(huì)出現(xiàn)突發(fā)問(wèn)題，及時(shí)是出現(xiàn)問(wèn)題，建立在足夠了解的基礎(chǔ)上能夠針對(duì)問(wèn)題拿出處理方案。