隨著光學(xué)在各個(gè)領(lǐng)域當(dāng)中的應(yīng)用，使得它也能為測厚行業(yè)里帶來貢獻(xiàn)。其中就有大眾所知的光學(xué)薄膜測厚儀。它利用光學(xué)的特點(diǎn)，能夠直接檢測出物件涂層、或者是其它物件的厚度。光學(xué)膜厚測量儀所利用的工作原理，便是光的折射與反射。

　　這種儀器在使用時(shí)，擺放在物件的上方，從儀器當(dāng)中發(fā)射了垂直向下的可視光線。其中一部分光會(huì)在膜的表面形成一個(gè)反射，另一部分則會(huì)透過儀器的薄膜，在薄膜與物件之間的界面開成反射，這個(gè)時(shí)候，薄膜的表面，以及薄膜的底部同時(shí)反射的光會(huì)造成干涉的現(xiàn)象。儀器便是利用了這樣的一種現(xiàn)象，從而測量出物件的厚度。厚度的測量看似簡單，實(shí)測上所利用的光反射原理，卻是需要經(jīng)過一系列的設(shè)計(jì)才能達(dá)到如此理想狀態(tài)。如此光學(xué)膜厚測量儀的使用，便也有著其它傳統(tǒng)測厚儀所沒有的優(yōu)點(diǎn)。

　　它能夠避免前期的樣品處理，甚至是不需要樣品來進(jìn)行試樣工作。傳統(tǒng)的測厚儀，在測量物件時(shí)，需要進(jìn)行樣品的處理，使樣品與被測量物件一致，在測量時(shí)直接應(yīng)用于樣品測量。而光學(xué)測厚儀的使用是直接應(yīng)用于被測量物體。這樣的一個(gè)過程便為我們節(jié)省了不少的工作以及資源。利用光學(xué)膜厚測量儀，它可以避免了被測量物件的損壞。之所以普通傳統(tǒng)的測厚儀需要用到樣品來進(jìn)行試測，就是因?yàn)樵跍y量時(shí)，會(huì)對(duì)物體造成一定程度的表面損壞，為了避免物件的損壞，才會(huì)需要應(yīng)用樣品。而光學(xué)的測厚儀，雖然直接應(yīng)用于物件表面，但其它放射出來的光卻是一樣沒有實(shí)質(zhì)的事物，在測量的時(shí)候并不會(huì)對(duì)物件造成什么樣的損傷。

　　光學(xué)薄膜測厚儀的使用并不僅僅有著以上這些優(yōu)點(diǎn)，它的最大優(yōu)點(diǎn)還是在于它的精確度比普通的測厚儀高。既使是很微小的物件，也可以利用這樣的一種儀器來測量它的厚度，而且還不用擔(dān)心物件會(huì)因此而受到破壞。于是，光學(xué)測厚儀也就成了人們眼中的香勃勃。