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什么是反射式膜厚測(cè)量?jī)x?有何特點(diǎn)?
作者:上海全耀儀器設(shè)備有限公司 上傳日期:2016年04月07日 瀏覽次數(shù):
膜厚測(cè)量?jī)x是一種被廣泛使用在金屬箔片生產(chǎn)行業(yè)的厚度測(cè)量設(shè)備,通過物理發(fā)射性穿透原理,利用超聲波變化,從而實(shí)現(xiàn)材料測(cè)試功能。反射式膜厚測(cè)量?jī)x便是其中一種類型,也能對(duì)薄膜性質(zhì)的材料實(shí)現(xiàn)厚度測(cè)量功能。
那么什么是反射式膜厚測(cè)量?jī)x呢?
其在使用過程中主要是通過反射原理實(shí)現(xiàn)材料厚度測(cè)量,薄厚測(cè)量?jī)x在使用中主要是通過α、β、γ三種射線實(shí)現(xiàn)被測(cè)物厚度測(cè)量。只是相比較而言,采用反射式設(shè)備測(cè)量的話,在測(cè)量方式上沒有可選性,已經(jīng)被固定住,這樣也有好處,很大程度上方便操作者使用,有助于工作效率的提升。
反射式膜厚測(cè)量?jī)x特點(diǎn):
1、非接觸式測(cè)量
這種測(cè)量?jī)x是采用非接觸式測(cè)量方法,在不接觸被測(cè)物的情況下的,可以確保在測(cè)量過程中不會(huì)對(duì)被測(cè)物造成破壞,完全不會(huì)破壞樣品,最大程度上保證了測(cè)量?jī)x的完整性;
2、測(cè)量精度高
所謂的反射式測(cè)量主要是通過紫外線測(cè)量反射率光譜,將被測(cè)物的薄膜厚度以及光學(xué)常數(shù)記錄下來,測(cè)得平均值,最終所得的測(cè)量精度是非常高的;
3、測(cè)量方便
通過顯微鏡的協(xié)助下,實(shí)現(xiàn)微距測(cè)量被測(cè)物的口徑,能夠?qū)崿F(xiàn)寬度在190納米到1100納米的波長(zhǎng)測(cè)量范圍;
反射式膜厚測(cè)量?jī)x測(cè)量規(guī)格:
測(cè)量規(guī)格主要包括膜存范圍、波長(zhǎng)范圍、電源規(guī)格以及重量等等,其中波長(zhǎng)范圍以上提到過在190納米到1100納米之間,膜存范圍在1納米到40納米之間;光源規(guī)格可選性比較多,主要有紫外線、可見光以及紫外和可見混合光源;重量范圍一半在96kg左右,僅限被測(cè)物的主體部分;
反射式膜厚測(cè)量?jī)x應(yīng)用范圍:
因?yàn)檫@種反射式測(cè)量?jī)x比較方便使用,而且測(cè)量范圍精準(zhǔn),因?yàn)楸粡V泛使用在許多行業(yè),比如半導(dǎo)體應(yīng)用、光學(xué)材料測(cè)量以及平面顯示器厚度測(cè)量等等;
什么是反射式厚度測(cè)量?jī)x?以上內(nèi)容對(duì)該問題進(jìn)行了詳細(xì)解答,主要讓各位了解設(shè)備測(cè)量原理以及測(cè)量特點(diǎn)、規(guī)格和應(yīng)用范圍上的相關(guān)信息。
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